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氣體液體配比混合 流量精確控制主要用于氣體液體混合配比,液體加熱產(chǎn)生氣體并用其他氣體做載氣,為等離子沉積cvd沉積或其他特定設備提供氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強 根據(jù)客戶要求隨意添加， 該氣體配比器也可以選擇多種液體和氣體混合。詳情請聯(lián)系客服人員溝通

液體氣體混合配比器 用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。 它們在半導體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的應用場合包括； 電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等