應(yīng)用范圍

適合于光學(xué)實(shí)驗(yàn)、激光電子、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域

1、臺(tái)面板厚度

6mm厚1Cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，均布25mm孔距M6螺紋孔

2、臺(tái)體尺寸

600mmx600mmx200mm

3、臺(tái)面離地高度

800mm

4、臺(tái)體總尺寸

（長(zhǎng)*寬*高）

600mm*60mm*800mm

5、固定螺孔

臺(tái)面布M6螺孔陣距25mm×25mm

6、臺(tái)體內(nèi)狀結(jié)構(gòu)

蜂窩狀鋼質(zhì)結(jié)構(gòu)

7、振幅

≤5um

8、臺(tái)面平整精度

0.1mm/m²

9、表面粗糙度

0.8μm-1μm

10、固有頻率

垂直3～6Hz 水平3～6Hz

11、負(fù)載重量

1200kg

12、臺(tái)體支撐方式

支架立柱120x120mm，配8個(gè)螺旋升降軸承結(jié)構(gòu)重型支撐腳，高分子復(fù)合橡膠墊提供對(duì)高頻振動(dòng)的隔振能力，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固穩(wěn)定。

13、總質(zhì)量

14、包裝運(yùn)輸

木箱包裝不回收，物流運(yùn)輸送貨上門（不負(fù)責(zé)上樓）

15、安裝

臺(tái)面與支架分別包裝，支架整體發(fā)貨，只需用叉車或其他起重設(shè)備或?qū)I(yè)搬運(yùn)操作人員，將臺(tái)面放置在支架上，通過調(diào)節(jié)上下8個(gè)升降支撐腳達(dá)到水平即可使用

16、其他

若需我單位提供售后安裝和搬運(yùn)上樓，請(qǐng)?jiān)谫徺I前與我單位銷售客服人員確定

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

﹣196~350℃

加熱臺(tái)溫控誤差

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm